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高技術門檻下的全制程專利布局

 

      截止2023年12月,奧趨光電圍繞氮化鋁晶圓制程已申請、授權60余份國內外專利。專利布局涵蓋材料預處理、長晶工藝、長晶設備、晶圓切割、晶圓拋光、材料檢測與表征,以及高質量氮化鋁模板制備等全套相關工藝。從而使中國成為繼美國、德國之后第三個具備大尺寸氮化鋁晶圓制造能力的國家,并處于全球技術領先地位。奧趨光電也隨之成為全球范圍內領域專利數量最多的企業之一。